等离子清洗机的真空度是影响等离子表面处理效果重要的因素之一

　　等离子清洗机的真空度，是影响等离子表面处理效果重要的因素之一。国内品牌的清洗机常用的真空度压力单位基本是帕(Pa)，但是不同国外品牌的清洗机就会出现托(Torr)、巴(bar)等单位，相互之间如何换算，有的时候不太容易搞得清楚。今天我们就来梳理一下常见的几个真空压力单位，供大家参考。
 

　　1 等离子清洗机的真空、真空度和压力单位：
 

　　清洗机是指真空反应腔室里面低于标准大气压的气体状态，微观上来讲就是腔体内的气体分子密度小于大气压的分子密度，不同的真空状态意味着不同的分子密度。
 

　　真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度，通常用气体压力值来来表示。真空度越高，压力值越小;真空度越低，压力值越大。
 

　　压力单位反应真空压力值的大小，由于历史和习惯的原因，不同的国家和地区使用的单位有所区别。

 

　　2 等离子清洗机几种常见的真空压力单位和相互之间的换算：
 

　　国内外品牌清洗机比较常见的真空压力单位有3个，即帕斯卡(Pa)、托(Torr)、巴(bar)，其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。
 

　　2-1、帕斯卡(Pa)，简写帕，国际单位制，我国法定压力单位，是为纪念法国物理学家与数学家帕斯卡而命名。换算关系如下：
 

　　1 帕(Pa)= 7.5×10-3托(Torr)=10-2毫巴(mbar)
 

　　2-2 托(Torr)，1Torr即1mmHg。Torr 参照国际单位制(简称SI)制订的中华人民共和国法定计量单位规定压强单位为Pa(帕)，两种单位之间换算关系为1托=133.322帕。换算关系如下：
 

　　1托(Torr)=133.322帕(Pa)=1.33322毫巴(mbar)
 

　　2-3 巴(bar)，非法定计量单位，即1平方厘米的面积上受到100万达因作用力，压强就是1巴，合100000帕。
 

　　换算关系如下：
 

　　1毫巴(mbar)=7.5×10-1托(Torr)=102帕(Pa)
 

　　3 等离子清洗机真空压度的测量：
 

　　用来测量清洗机真空度的仪器是真空计(Vacuum Gauge)，又名真空表，其度数反应的是清洗机反应腔室内气压的变化和实时的数值，能否精准测量对等离子表面处理工艺很重要。不同的真空度，等离子体放电状态、等离子密度和特性区别很大。